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bennylcn 發表於 2023-8-4 11:30

國產光刻機有望取得突破 首台國產28nm工藝沉浸式光刻機最快年底交付

國產光刻機一直是中國半導體工業極力爭取的目標。日前,有消息稱上海微電子有望最快年底向市場交付首台國產28nm工藝沉浸式前道光刻機。

上海微電子有望在2023年年底向市場交付首台國產28納米工藝沉浸式前道光刻機設備,這是中國半導體工業一直以來努力追求的目標。雖然中國在最先進的EUV光刻機方面與國外巨頭存在很大差距,但在非最先進製程的中高端光刻機方面,上海微電子已經具備自主生產、成熟穩定的產品,並有著較高的市場佔有率。此外,上海微電子還擁有2.5D/3D封裝光刻機,其精度在0.6微米左右,屬於世界領先水平。此前,上海微電子也表示在泛半導體方面有所研究,但具體細節不能透露。根據數據顯示,中國在清洗、熱處理、去膠設備的國產化率已達到高水平,而在其他方面的國產化率仍然有待提高。

快科技引述《証卷日報》消息,上海微電子已經在28nm沉浸式光刻機的研發取得了重大進展。預計在2023年年底,他們將向市場推出國產的第一台SSA/800-10W光刻機設備。光刻機是決定半導體生產工藝水平高低的核心技術,由光學系統、微電子系統、計算機系統、精密機械系統和控制系統等構件組成,因此極為複雜和精密。上海微電子裝備(集團)股份有限公司(SMEE)成立於2002年,專注於半導體裝備、泛半導體裝備和高端智能裝備的開發和技術服務。他們的產品廣泛應用於集成電路前道等製造領域。

雖然中國在最先進的EUV光刻機方面起步晚了50年,與國外巨頭存在很大的差距,但在非最先進製程的中高端光刻機方面,上海微電子已經具備自主生產、成熟穩定的產品,並有著較高的市場佔有率。即將推出的SSA/800-10W光刻機就是這一系列的最新產品之一。此外,上海微電子還擁有2.5D/3D封裝光刻機,其精度在0.6微米左右,儘管與前道光刻機有所差距,但仍屬於世界領先水平。此前,上海微電子公開表示在泛半導體方面有所研究,有多個技術路線,但具體細節不能透露。根據數據顯示,中國在清洗、熱處理、去膠設備的國產化率分別達到34%、40%、90%,在塗膠顯影、刻蝕、真空鍍膜的國產化率達到10-30%,而在原子層沉積、光刻、量測檢測、離子注入方面的國產化率暫時低於5%。
[url]https://ezone.ulifestyle.com.hk/article/3583122/%E5%9C%8B%E7%94%A2%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F%E6%9C%89%E6%9C%9B%E5%8F%96%E5%BE%97%E7%AA%81%E7%A0%B4-%E9%A6%96%E5%8F%B0%E5%9C%8B%E7%94%A228nm%E5%B7%A5%E8%97%9D%E6%B2%89%E6%B5%B8%E5%BC%8F%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F%E6%9C%80%E5%BF%AB%E5%B9%B4%E5%BA%95%E4%BA%A4%E4%BB%98[/url]

28NM 其實已經可以滿足大部份電子產品既要求:shifty:

hiyato 發表於 2023-8-4 13:18

据新华网援引《证券日报》消息称,上海微电子在28nm浸没式光刻机的研发上取得重大突破
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[url]http://search.zqrb.cn/search.php?src=all&q=%E4%B8%8A%E6%B5%B7%E5%BE%AE%E7%94%B5%E5%AD%90&f=_all&s=newsdate_DESC&p=2[/url]

14 国产光刻机如何突围?

    作者:本报记者李昱丞时间:2023年07月31日栏目:A3媒体:证券日报电子报

      本报记者李昱丞  见习记者丁蓉  近日,有消息称,上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机,预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。此前,国家知识产权局公布了一项华为新的专利“反射镜、光刻装置及其控制方法”,在极紫外线光刻机核心技术上取得突破性进展。  半导体产业是全球主要国家的战略高地。美国、荷兰、日本先后对光刻机等半导体制造设备出口进行限制,我国将于8月1日起对镓、锗相关物项实施出口管制。想要不被“卡脖子”,在关键环节实现自主可控是必经之路。光刻机“卡脖子”问题具体体现在哪儿?我国企业已经取得了哪些进展?国产量子芯片领域能否把握发展先机?《证券日报》记者近日就此调研了部分上市公司,采访了学术界、产业界多位专家。  业内人士普遍表示,我国企业加快核心领域自主研发,光刻机产业链上下游正不断涌现出新进展、新成果,国产化加速向前。“中国芯”正在崛起。......

[url]http://epaper.zqrb.cn/html/2023-07/31/content_968877.htm[/url]




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新华网
[url]http://www.news.cn/politics/2023-07/31/c_1129777520.htm[/url]

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[url]https://www.txrjy.com/thread-1292662-1-1.html[/url]
新华网也删了

palmtree 發表於 2023-8-4 17:09

歐美禁令擋不住! 研調:中國晶圓代工成熟製程市占率續增長

原文網址: 歐美禁令擋不住! 研調:中國晶圓代工成熟製程市占率續增長 | ETtoday財經雲 | ETtoday新聞雲 [url]https://finance.ettoday.net/news/2533905#ixzz89PLw9HkA[/url]
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記者高兆麟/綜合報導

荷蘭上月底跟進發布先進製程設備出口管制細則,但TrendForce認為,即便受到美、日、荷相繼對中國出口祭出管制,中國晶圓代工12吋約當產能市占率仍將由2022年24%,預估增長至2026年26%。此外,若40/28nm設備出口最終仍將取得許可,預估中國晶圓代工12吋約當產能市占率仍有機會在2026年擴張至28%,成長規模仍不容忽視。

根據荷蘭公布最新半導體設備管制措施,由於曝光、沉積、磊晶製程等多項半導體製程設備均在限制出口範圍內,受管制品項出口皆需申請許可,9月1日將正式生效。TrendForce表示,以中國晶圓代工產業發展進程來看,目前專注發展的55nm、40nm以及28nm等成熟製程,包含沉積等設備已可大致由中國本土設備商進行替代,擴產及發展上較無虞, 荷蘭此次關鍵限制焦點鎖定在曝光機台。


TrendForce調查,荷蘭出手規範首當其衝的業者包含中芯國際(SMIC)北京廠、上海廠,以及合肥晶合集成(Nexchip)A3/A4廠區。而合肥晶合集成因短期內仍以55nm及更成熟的製程節點為主要量產重點,TrendForce研判影響較輕。至於中芯國際北京與上海廠,預期將可能被迫延緩其擴產計畫,等待設備商取得出貨許可才能持續進行。

以製程來看,依據美國EAR(Export Administration Regulations)原則,半導體禁令旨在限制中國先進製程發展,成熟製程並非主要目標。由於美國、日本、以及荷蘭設備出口管制條例雖有部分機台橫跨成熟及先進製程世代,因而明訂由45nm開始至更先進的製程皆須經過審核,但主流用於45~28nm等成熟製程的機台仍將有機會取得出口許可。儘管會面臨冗長的設備審查流程,導致中國晶圓代工廠40nm及28nm擴產計畫被迫延緩,但就中國晶圓代工廠布局28nm市場的積極度來看,其發展速度仍相當強勢。

值得一提的是,1Xnm等先進製程發展方面,儘管目前已非中國晶圓代工廠發展主流,但在美國、日本及荷蘭管制下,中國未來發展先進製程的可能性,預期將隨著全面性的出口管制被進一步阻擋。

ricky1992 發表於 2023-8-4 20:18

28nm 多重曝光可以去到幾多?

一隻人 發表於 2023-8-4 20:28

[quote]28nm 多重曝光可以去到幾多?
[size=2][color=#999999]ricky1992 發表於 2023-8-4 20:18[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41810794&ptid=2703252][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]


理論可以一直上
台電有效益的能到7NM
大陸幾年內有效益應頂天14NM左右
像INTEL其實也仍在用DUV
10NM+++++++等效台電多少真不好說

掃馬想機 發表於 2023-8-5 09:25

[quote]理論可以一直上
台電有效益的能到7NM
大陸幾年內有效益應頂天14NM左右
像INTEL其實也仍在用DUV
10NM++++ ...
[size=2][color=#999999]一隻人 發表於 2023-8-4 20:28[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41810805&ptid=2703252][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]

難怪intel無錢賺,成本超高

掃馬想機 發表於 2023-8-5 09:34

[i=s] 本帖最後由 掃馬想機 於 2023-8-5 09:39 編輯 [/i]

[quote]据新华网援引《证券日报》消息称,上海微电子在28nm浸没式光刻机的研发上取得重大突破
------------------- ...
[size=2][color=#999999]hiyato 發表於 2023-8-4 13:18[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41810278&ptid=2703252][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]

现在的风气就是宁愿相信韩国成功发现超导材料,即使已经很多机构证伪了,也不愿意咱们能做出光刻机,可悲啊。

難怪落後,愚昧嘅人占絕大多數。

以為支持相信,就會成功

一隻人 發表於 2023-8-5 16:35

[quote]難怪intel無錢賺,成本超高
[size=2][color=#999999]掃馬想機 發表於 2023-8-5 09:25[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41811285&ptid=2703252][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]


剛好相反吧
INTEL本身也曾是ASML股東
INTEL 三星 台積電三家曾經高峰時INTEL是三家中的首位
雖然三家因為股價漲了都解套了不少
但現時ASML的兩大股東都是美國資本
他要EUV按理優先度比台積電還高
不願轉做EUV更應該是成本問題才不願轉

chihim2468 發表於 2023-8-6 08:40

最緊要有開始,就好似中國北斗導航系統,空間站呢啲野都係比西方封殺迫出黎

rabbit82047 發表於 2023-8-6 09:42

[quote]最緊要有開始,就好似中國北斗導航系統,空間站呢啲野都係比西方封殺迫出黎 ...
[size=2][color=#999999]chihim2468 發表於 2023-8-6 08:40[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41812293&ptid=2703252][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]


    其實 28nm 光刻機上年就開始傳出貨,只不過係今年再傳多次
所以都係等實際交左貨先算

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