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ronimos 發表於 2023-9-13 11:51

用SSMB-EUV 取代 LPP-EUV?

[i=s] 本帖最後由 ronimos 於 2023-9-13 11:53 編輯 [/i]

用SSMB-EUV 取代 LPP-EUV?

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加速器周长100~150米,输出EUV功率>1KW

美国的极限制裁极大的加速了国内EUV光刻机的研发速度,原本这种异想天开的“邪路”只能停留在PPT上和实验室里。现在国家的饱和式研发却让它迅速落地

未来这种一台加速器光源带数台甚至数十台光刻机的“光刻厂”


SSMB是清华大学的项目,看报道说他们的团队去德国柏林的加速器上做过实验
[url]https://www.euvlitho.com/2020/S52.pdf[/url]

(SSMB-EUV)项目在雄安新区落地
[url]http://www.tsinghua-hb.com/artical.php?aid=1856[/url]

更大規模的FEL-EUV
[url]https://www.euvlitho.com/2017/P18.pdf[/url]

掃馬想機 發表於 2023-9-13 14:18

做到先算啦。:sleep:

ricky1992 發表於 2023-9-13 14:22

咁我又信佢會做到嘅
始終大陸好早已經有研究激光
要解決都係精度問題

ronimos 發表於 2023-9-13 14:47

SSMB-EUV光源做更細的製程比LPP 好, 但基本上搬運不到, 安裝周期太長了

大陸基本上都是多線同行, SSMB 同 LPP 都有做。

或者產學結合, 用SSMB 光刻機cover SSMB成本, 令套SSMB 變成成本最低的硬x-ray 實驗裝置

rabbit82047 發表於 2023-9-13 22:21

係咪單純提供光源,之後帶幾台光刻機 :?:
不過部機基本就變固定裝置

高登阿伯 發表於 2023-9-13 22:48

[quote]係咪單純提供光源,之後帶幾台光刻機
不過部機基本就變固定裝置
[size=2][color=#999999]rabbit82047 發表於 2023-9-13 22:21[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41863109&ptid=2705967][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]

問題唔止呢樣,粒子加速器本身維修保養好花時間,北京天津有部X光同步輻射儀,一年之內只有半年可用,半年做粒子加速器維修。

一隻人 發表於 2023-9-14 10:47

[quote]問題唔止呢樣,粒子加速器本身維修保養好花時間,北京天津有部X光同步輻射儀,一年之內只有半年可用,半 ...
[size=2][color=#999999]高登阿伯 發表於 2023-9-13 22:48[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41863141&ptid=2705967][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]


凡事不外乎技術突破
真做成產業本身能賺大錢
技術突破就是預期內的事

qcmadness 發表於 2023-9-14 14:36

[quote]凡事不外乎技術突破
真做成產業本身能賺大錢
技術突破就是預期內的事 ...
[size=2][color=#999999]一隻人 發表於 2023-9-14 10:47[/color] [url=https://www.hkepc.com/forum/redirect.php?goto=findpost&pid=41863579&ptid=2705967][img]//i.hkepc.net/forum/common/back.gif[/img][/url][/size][/quote]

但做到成品再講

六代火龍 發表於 2023-9-15 06:27

睇好中國公司叫上海中微  :xd:

ampm 發表於 2023-9-15 21:58

奇怪早排ASML CEO訪問時D對話,係咪已知道SSMB呢單資料。

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