2025-12-18
中國已完成國產 EUV 原型機
該原型機部份使用 ASML 舊零件製造
該原型機部份使用 ASML 舊零件製造
文: 編輯部 / 新聞中心
【原型機 ... ㊙️】外媒報導，中國半導體取得了重大技術突破，消息指中國已完成首部國產 EUV 光刻機原型並投入運作，不過該原型機仍需依賴 ASML 的舊零件才能運行，但如此迅速的進展仍令人震驚。
據《路透社》報導，中芯國際透過招聘 ASML 前工程師，以逆向工程方式完成首部國產 EUV 光刻機原型。目前尚不清楚中國工程師在其原型機上採用了何種技術，但消息指該原型機部分使用了 ASML 舊款光刻機的零件，並非 100% 國產。
報導指，由於可在二手市場取得 ASML 舊款光刻機的零組件，中國才得以完成 EUV 原型機。目前該原型機已能運轉並產生用於晶圓刻蝕的極紫外光，但尚未完成任何晶片流片，預計要到 2030 年才能完成流片，這比美國政府的預測時間早得多。
儘管如此，外界仍對中國 EUV 光刻機的前景存疑，尤其在光源及其他關鍵參數方面，仍需經過長期的經驗累積，才能把良率提升至合理水平。
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